Ionisationsmesszelle

Für sehr geringe Drücke (Hochvakuum) kann man eine Ionisationsmesszelle (Pirani-Zelle) einsetzen. Dabei werden durch die aus einem Glühdraht austretende Elektronen die Moleküle des Restgases positiv ionisiert und an einer Elektrode detektiert. Der detektierte Strom hängt von der Art des Gases ab und vom Druck. Ionisationsmesszellen müssen genauso wie Wärmeleitfähigkeitszellen auf die Art des Gases kalibriert werden. Die Ionisationsmesszelle funktioniert nur bei sehr geringen Drücken (unterhalb von 10^-3 mbar), da bei höheren Drücken der Glühdraht verglühen würde (durch Reaktion mit dem Sauerstoff des Restgases). Meist wird dazu eine automatische Abschaltung der Glühwendel bei höheren Drücken vorgenommen. Die Messgrenze für Ionisationsmesszellen sind stark von der Geometrie des Auffänger abhängig, da die Elektronen beim Einschlag auf die Anode eine weiche Röntgenstrahlung auslösen und diese am Auffänger Sekundärelektronen auslösen. Durch Verkleinerung des Auffängers kann der Messbereich von ca. 10^-7 mbar bis auf 10^-13 mbar ausgedehnt werden.