Turbomolekularpumpe

Turbomolekularpumpen (oder auch kurz Turbopumpen) sind für den Hochvakuumbereich geeignet und haben einen Arbeitsbereich von 10^-1 mbar bis ca. 10^-9 mbar. Das Prinzip der Turbomolekularpumpe besteht darin, Gasteilchen durch schnell bewegte, rotierende Oberflächen in die gewünschte Richtung zu bewegen. Wenn die Gasmoleküle mit der Oberfläche des Rotors zusammenstoßen, werden sie beschleunigt und zum Ansaugstutzen der Vorvakuumpumpe befördert.

Turbopumpen sind mehrstufig aufgebaut, wobei moderne Designs wie Axialkompressoren arbeiten. Die Umfanggeschwindigkeit des Rotors kommt an die thermische Geschwindigkeit der Moleküle heran (ca. 500 m/s).